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加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

簡要描述：PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞?

  • 產(chǎn)品型號：PCE-22
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2025-02-11
  • 訪  問  量：6870

詳細(xì)介紹

 PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
   紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

 

技術(shù)參數(shù)

電源

AC 208~240V，單相 50/60Hz

紫外燈

  • 可發(fā)出雙波長的水銀燈
  • 功率：55W
  • 發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm 
  • 使用壽命：2500 小時（可在本公司購買紫外燈來更換）
  • 照射區(qū)域：200 x 200 mm

腔體&樣品臺

  • 不銹鋼殼體
  • 抽屜式樣品臺，以便放樣取樣
  • 樣品臺面積310 mm x 320 mm
  • 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
  • 樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)）
  • 樣品臺可以加熱，zui高溫度可達(dá)150℃
  • 可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃
  • 設(shè)備運行時間：0.01 秒- 99.9小時

排氣口

  • 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
  • 請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外
  • 儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
 

凈重

28kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含紫外燈）

應(yīng)用

  • 去除分子級別的污染物
  • 紫外光固化粘合劑
  • 紫外光催化
  • 氧化PDMS
  • 表面消毒
  • 刻蝕
  • 清洗MEMS 器件
  • 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

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