500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀--VTC-2DC

簡要描述：VTC-2DC是一款小型的直流（DC）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗手。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-02-10
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薄膜制備全套設備

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詳細介紹

VTC-2DC是一款小型的直流（DC）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗手。
用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜

技術(shù)參數(shù)

輸入電源	220VAC 50/60Hz, 單相 1000W (包括真空泵）
等離子源	一個500W，600V的直流電源安裝在移動柜內(nèi)(點擊圖片查看詳細資料）
磁控濺射頭	一個2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接靶材尺寸: 直徑為50mm,zui大厚度1.5mm 一個快速擋板安裝在法蘭上（手動操作，見圖左3）濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機）同時可選配1英寸濺射頭
真空腔體	真空腔體：160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H，采用高純石英制作密封法蘭:直徑為165 mm . 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體真空度：10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵）， 10-5 torr （采渦旋分子泵）
載樣臺	載樣臺可旋轉(zhuǎn)（為了制膜更加均勻）并可加熱載樣臺尺寸：直徑50mm （zui大可放置2英寸的基片）旋轉(zhuǎn)速度：1 - 20 rpm 樣品的zui高加熱溫度為700℃，(短期使用，恒溫不超過1小時)，長期使用溫度500℃ 控溫精度+/- 10℃
真空泵	可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng)
薄膜測厚儀	一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
外形尺寸
重量	70Kg
質(zhì)保和質(zhì)量認證	一年質(zhì)保期，終生維護 CE認證
使用注意事項	為了得到較好的金屬膜，特別是針對易氧化的金屬，如Al, Mg和Li等，必須通入高純惰性氣體（> 5N）強烈建議采用PPM極的氣體凈化系統(tǒng)（將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后，再導入到真空腔體內(nèi)）我們也可在設備中安裝射頻(RF)電源，用于濺射非導電靶材，來制備非金屬薄膜