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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >    >  CVD、PECVD設(shè)備  >  1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC

1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC

簡要描述:GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其Z高工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-02-10
  • 訪  問  量:4114

詳細(xì)介紹

     GSL-1700X-4-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其zui高工作溫度可達(dá)1600極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

技術(shù)參數(shù)

GSL-1700X 系列管式爐

殼體

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
  • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
  • 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上,方便移動.
  • 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

爐管

  • 材質(zhì)高純氧化鋁陶瓷管
  • 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
  • 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)

功率

 

6KW

工作電壓

 

AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

 

1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

  • zui高工作溫度.: 1650°C
  • 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

 

 <=5°C/min

加熱區(qū)長度

  • 加熱區(qū)長度: 457 mm (18")
  • 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)

溫控系統(tǒng)

  • 采用PID方式自動控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
  • 控溫精度: ±1°C                   
  • 控溫儀表操作視頻
  • 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空法蘭

  • 一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
  • 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
  • 兩個精密針閥
  • 一個KF-25連接器 KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口
  • 一個1/4"卡套接頭

外形尺寸

 

550 x 380 x 520mm

高真空機(jī)組

功率

 

100~110W

工作電壓

 

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

 

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

  • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • zui大承載量:       600 Lbs on top
  • 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示
  • 內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

  • 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動啟動) 
  • 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

抽氣速率

  • N2     33 L/s
  •  He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范圍

 

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

 

<1E-8 mbar (without any leaking )

質(zhì)量流量控制器

殼體

  • 采用 316不銹鋼制作
  • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
  • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
  • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

功率

 

18W

工作電壓

 

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質(zhì)保期

 

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

質(zhì)量認(rèn)證

CE Certificateed

  Operation Manual


 

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