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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū)，可提高溫度均勻性，同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文（點擊查看）

OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管，安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中，此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行，可實現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計主要是在鋰離子電池的陰極材料（如LiFePO3, LiMnNiO3）上包覆導(dǎo)電層，同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器Z高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱，Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。