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真空旋轉(zhuǎn)涂膜機--VTC-100PA(加熱型)

簡要描述:VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

  • 產(chǎn)品型號:VTC-100PA(加熱型)
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-02-11
  • 訪  問  量:4122

詳細介紹

 VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 

 技術(shù)參數(shù)

主要特點

  • 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
  • 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
  • 設(shè)有12組程序,每組包含6個運行階段。
  • 電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
  • 50W/24V 直流電機
  • 適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)

參數(shù)

  •  電機功率:50W/24V
  •  速度范圍:500-10000rpm
  •  程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
  •  增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
  •  時間范圍:0-60s
  •  吸盤:Φ19mm、Φ60mm
進氣口

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

可選加熱部

    上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,zui高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

             

產(chǎn)品規(guī)格

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
  • 重量:20kg

標準配件

1

 真空吸盤(含O型圈)

2

2

 中心定位器(含4個定位柱)

1

3

 滴膠注射器(20ml

1

4

 注射器支架

1

5

 無油真空泵

1

6

 橡膠管(含卡箍)

1

可選配件

 過濾器(真空泵用)

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