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高真空蒸發(fā)鍍膜儀

簡(jiǎn)要描述:高真空蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍一些對(duì)氧較敏感的金屬膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個(gè)蒸鍍加熱頭.對(duì)于實(shí)驗(yàn)研究,這是一款鍍膜效果理想并且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1800X-ZF4
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-02-11
  • 訪  問(wèn)  量:3941

詳細(xì)介紹

 

技術(shù)參數(shù)

操作視頻 點(diǎn)擊查看

電壓

  • 輸入:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
  • 輸出: 0 - 8VAC (可調(diào))zui大電流: 400A (可調(diào))
  • zui大功率:4000W(包括真空泵)

真空腔體

  • 不銹鋼腔體:280mm ID. x 375 mm H,腔體內(nèi)壁做了電拋光處理
  • 有一個(gè)150mm的觀察窗口(采用無(wú)氧銅密封圈密封)
  • 一個(gè)RF-150法蘭,便于放入樣品。
  • 一個(gè)KF-40法蘭,可與真空泵相連接
  • 四個(gè)CF-35法蘭,便于安裝真空計(jì)、電極和其他用途備用

真空泵

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

  • 儀器中包括一臺(tái)高抽速的渦輪分子泵和前級(jí)泵
  • 前級(jí)泵抽速:600L/S
  • 真空度:5.0x10-6 torr(泵開(kāi)啟后40分鐘)
  • 極限真空度:5.0x10-7  torr(烘烤溫度為60-80℃)
  • 漏氣率:5.0x10-7Pa./S

 

蒸發(fā)加熱源 樣品臺(tái)

  • 5個(gè)水冷電極安裝在腔體底部,可支持4個(gè)鎢加熱舟
  • 每個(gè)鎢舟上面安裝有可移動(dòng)的擋板,所以實(shí)驗(yàn)時(shí)可以防止各物料之間的污染,樣品臺(tái)安裝在真空腔體頂部,直徑為150mm
  • 樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)和加熱,旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm,加熱zui高溫度600℃

  • 蒸發(fā)源與樣品臺(tái)的距離為250mm

測(cè)厚儀

  • 一個(gè)高分辨度的薄膜測(cè)厚儀安裝在腔體內(nèi)部
  • 測(cè)量精度為:1.0Å

循環(huán)水冷機(jī)

  • 儀器使用過(guò)程中需要通冷卻水,為了節(jié)約用水,強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī)
  • 所需水流量>15L/min

   

控制單元

  • 真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)
  • 控制單元和真空腔體獨(dú)立分開(kāi),以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

凈重

600kg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

 

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